ALDER-500PAS(A500PAS)是一种为了满足各种涂层研发及中型批量量产而进行优化设计的中型ALD装置。
ALDER-500PAS(A500PAS)是一种为了满足各种涂层研发及中型批量量产而进行优化设计的中型ALD装置。
小量多种材料的定制设计
工艺温度最高400℃
支持低温plasma工艺（可选配）
自动化搬送：基板最大8inch*10pcs
工艺材料：SIO₂\Al₂O₃\TIO₂等
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